國(guó)產(chǎn)表面塵埃0.1顆粒檢測(cè)儀表面塵埃粒子檢測(cè)儀是一款面向制造、半導(dǎo)體工藝、光電顯示及精密加工領(lǐng)域的高靈敏度檢測(cè)設(shè)備。 它通過(guò)光散射探測(cè)與智能識(shí)別算法，對(duì)材料表面的微小塵埃、顆粒及污染物進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)與量化分析，幫助用戶精準(zhǔn) 掌握潔凈度狀況，提升生產(chǎn)良率與質(zhì)量控制水平。  這款設(shè)備由國(guó)內(nèi)團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)，核心光學(xué)、算法與電子系統(tǒng)均實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化突破，是一款可替代進(jìn)口設(shè)備的高 性能粒子檢測(cè)解決方案。  測(cè)試流程：探頭掃過(guò)要測(cè)試的樣品表面，表面上的顆粒被通過(guò)掃描頭上的開(kāi)口排出的高壓空氣流化。然后這些粒 子通過(guò)探頭氣管被拉到表面粒子檢測(cè)器，在那里記錄粒子水平并以原始粒子計(jì)數(shù)，顆 in2  或 顆表示；該系統(tǒng) 采用固態(tài)激光二極管光源和收集光學(xué)器件，用于檢測(cè)和確定通過(guò)掃描頭拉出的顆粒的大小。收集光學(xué)器件將光聚焦 在光電探測(cè)器上，該光電探測(cè)器將光脈沖轉(zhuǎn)換為電脈沖。脈沖高度與顆粒大小成正比，裝置采用光散射激光技術(shù)來(lái)量 化表面污染顆粒的相對(duì)水平。

表面塵埃粒子檢測(cè)儀 高集成度采樣探頭：將進(jìn)氣，出氣集成到探頭里，探頭材料采用化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、防靜電、耐摩擦等特性，在充分吹掃表面探 頭所覆蓋區(qū)域顆粒物的同時(shí)，還能有效的將所有的顆粒通過(guò)管道置換到設(shè)備檢測(cè)光腔內(nèi)，得到準(zhǔn)確、靈敏、可靠的結(jié)果。 自動(dòng)校準(zhǔn)算法：自動(dòng)區(qū)分顆粒類型與尺寸區(qū)間，減少人為誤差，提高檢測(cè)一致性。 實(shí)時(shí)可視化分析平臺(tái)：高速信號(hào)采樣與數(shù)據(jù)融合算法，支持結(jié)果圖形化展示：粒徑分布曲線、密度趨勢(shì)、 異常警報(bào)等一目了然，便于工藝溯源與質(zhì)量評(píng)估。 模塊化設(shè)計(jì)，適應(yīng)多場(chǎng)景應(yīng)用：儀器采用主機(jī) + 可更換探頭結(jié)構(gòu)，可適配平面、凹槽、邊緣等復(fù)雜表面， 實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)靈活檢測(cè)。支持靜態(tài)與動(dòng)態(tài)模式切換。  

噪音低，氣流平順 國(guó)產(chǎn)高精度 高集成度采樣探頭 即插即測(cè)，智能校準(zhǔn)，一鍵生成可視化潔凈報(bào)告

國(guó)產(chǎn)表面塵埃0.1顆粒檢測(cè)儀特點(diǎn)

高集成度采樣探頭：將進(jìn)氣，出氣集成到探頭里，探頭材料采用化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、防靜電、耐摩擦等特性，在充分吹掃表面探 頭所覆蓋區(qū)域顆粒物的同時(shí)，還能有效的將所有的顆粒通過(guò)管道置換到設(shè)備檢測(cè)光腔內(nèi)，得到準(zhǔn)確、靈敏、可靠的結(jié)果。 自動(dòng)校準(zhǔn)算法：自動(dòng)區(qū)分顆粒類型與尺寸區(qū)間，減少人為誤差，提高檢測(cè)一致性。 實(shí)時(shí)可視化分析平臺(tái)：高速信號(hào)采樣與數(shù)據(jù)融合算法，支持結(jié)果圖形化展示：粒徑分布曲線、密度趨勢(shì)、 異常警報(bào)等一目了然，便于工藝溯源與質(zhì)量評(píng)估。 模塊化設(shè)計(jì)，適應(yīng)多場(chǎng)景應(yīng)用：儀器采用主機(jī) + 可更換探頭結(jié)構(gòu)，可適配平面、凹槽、邊緣等復(fù)雜表面， 實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)靈活檢測(cè)。支持靜態(tài)與動(dòng)態(tài)模式切換。

高穩(wěn)定性與環(huán)境補(bǔ)償：內(nèi)置溫濕度補(bǔ)償與防振動(dòng)設(shè)計(jì)，在潔凈室、實(shí)驗(yàn)線及戶外實(shí)驗(yàn)等多種環(huán)境下均 能保持高精度與長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。 開(kāi)放式數(shù)據(jù)與系統(tǒng)兼容性: 支持多種數(shù)據(jù)接口USB，RS485，可與MES、QMS 等系統(tǒng)無(wú)縫集成，實(shí)現(xiàn)檢測(cè)信息的自動(dòng)歸檔與追溯。

表面塵埃0.1顆粒檢測(cè)儀應(yīng)用領(lǐng)域 半導(dǎo)體晶圓與光掩膜檢測(cè) 光電顯示與玻璃基板制造 精密機(jī)械與光學(xué)元件加工 醫(yī)療器械與高潔凈生產(chǎn)線 材料表面潔凈度評(píng)估與認(rèn)證

表面塵埃0.1顆粒檢測(cè)儀技術(shù)參數(shù)  應(yīng)用領(lǐng)域 半導(dǎo)體晶圓與光掩膜檢測(cè) 光電顯示與玻璃基板制造 精密機(jī)械與光學(xué)元件加工 醫(yī)療器械與高潔凈生產(chǎn)線 材料表面潔凈度評(píng)估與認(rèn)證 表面探頭類型 表面探頭規(guī)格 功 能 電 源 打印功能 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 重 量 圓形 15、20、30、50、70mm(直徑)；標(biāo)配一個(gè)50mm 表面探頭 根據(jù)探頭的形狀(如:圓形輸入直徑、方形輸入長(zhǎng)寬尺寸)， 自動(dòng)計(jì)算出表面積, 直接判定SCP等級(jí) 可拆卸鋰電池，可充電DC24V 熱敏打印機(jī) 可存儲(chǔ)至少100,000組數(shù)據(jù) 8.8Kg  SCP等級(jí) 1級(jí)~8級(jí) 外形尺寸 250 × 240 × 310 mm(不含氣嘴，把手等附件）