更新時(shí)間：2026-01-11
半導(dǎo)體行業(yè)超聲波流量計(jì)潔凈室環(huán)境中的高優(yōu)先事項(xiàng)之一是避免溶解的金屬對(duì)流動(dòng)介質(zhì)（例如超純水或去離子水，清潔劑，溶劑以及酸和腐蝕性）的潛在污染。
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半導(dǎo)體行業(yè)超聲波流量計(jì)潔凈室環(huán)境中的高優(yōu)先事項(xiàng)之一是避免溶解的金屬對(duì)流動(dòng)介質(zhì)（例如超純水或去離子水，清潔劑，溶劑以及酸和腐蝕性）的潛在污染。
潔凈室環(huán)境中的高優(yōu)先事項(xiàng)之一是避免溶解的金屬對(duì)流動(dòng)介質(zhì)（例如超純水或去離子水，清潔劑，溶劑以及酸和腐蝕性）的潛在污染。
因此，F(xiàn)LEXIM開發(fā)了一種*超聲儀，非常適合于以下應(yīng)用：
FLUXUS半導(dǎo)體的設(shè)計(jì)和制造不含任何金屬組件。此外，由于將其安裝在彈性管或彈性管的外部，因此不會(huì)侵入，不會(huì)直接與介質(zhì)接觸，因此永遠(yuǎn)不會(huì)有任何泄漏或污染的可能性。此外，無需進(jìn)行昂貴的安裝過程停機(jī)，并且系統(tǒng)本身幾乎無需維護(hù)。
可靠性和準(zhǔn)確性是FLEXIM的基石之一。即使安裝在彈性管上，F(xiàn)LUXUS半導(dǎo)體也不例外。特殊的夾具可確保穩(wěn)定耐用的安裝，多年來可提供的精度。
因此，F(xiàn)LUXUS半導(dǎo)體通過精確，可靠和安全地監(jiān)控任何流動(dòng)介質(zhì)的消耗和流速，即使在每小時(shí)低至幾升的極低流速下，也是潔凈室環(huán)境中經(jīng)濟(jì)運(yùn)行的理想流量計(jì)。
1，外夾式流量測(cè)量，測(cè)量精度高，適合固定使用
2，傳感器安裝夾具和傳感器不含金屬
3，適用于管徑為 3/8"、1/2"、3/4"、1"、1 1/4"、1 1/3"、1 1/2"的塑料管 和和撓性管（其他視應(yīng)用而定）
4，即使在低流速下確保高精度測(cè)量
5，在過程運(yùn)行中可進(jìn)行安裝和調(diào)試，無需停車
6，傳感器固定在管道外側(cè)，因此沒有污染或泄漏的風(fēng)險(xiǎn)
7，用戶友好的菜單界面固件特別適合于半導(dǎo)體行業(yè)的需求
半導(dǎo)體行業(yè)的流量測(cè)量
高腐蝕性物質(zhì)，如酸或堿
清潔劑
溶劑
超純流體
精度
±1.5 % v. MW ±0.01 m/s
重復(fù)性
0.25 % 讀數(shù)，視應(yīng)用而定
流速范圍
0.01...25 m/s
防區(qū)主機(jī)
only safe area
供電電源
100...230V/50-60Hz或
20...32V DC 或
11...16 V DC
可用傳感器
剪切波
對(duì)于防爆區(qū)
無
適用于管道尺寸范圍
8mm ... 51mm，請(qǐng)參考尺寸圖
適用于溫度范圍
-20°C .... 100°C
輸出
1x 4-20mA active
2x pulse/binary
輸入
---
數(shù)字通信
Modbus RTU
BACnet MS/TP
M-Bus
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