更新時間：2026-01-11
ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型21S系列，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。
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ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型21S系列
應用及案例
● 大學/研究所 ● 汽車制造
● 環境監測 ● 計量校準
● 真空行業及鍍膜 ● 過程工藝氣體測量
● 工業爐窯
ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型21S系列
產品特色
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數控制，如體積流量、質量流量和壓力
● 可選高精度：優于0.5%
● 量程可控比1%-100%
● 響應時間快，100 ms（可調）
● 內置128種常規及腐蝕性氣體
● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
介質要求 潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質種類 內置了128種氣體，請參考背面
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM
量程可控比 1%-100%
最大顯示流量 128 %滿量程
最大可控流量 102.4 %滿量程
顯 示 屏 帶背光按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）
高 精 度 ±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程），選配
僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設備
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數額外誤差
重 復 性 ± 0.2 %滿量程
質量流量零點和滿量程溫度漂移 0.02%滿量程/℃（從25℃開始）
質量流量零點和滿量程壓力漂移 ±(0.08% 讀數+ 0.02% 滿量程)
（從校準壓力開始）
控制響應時間（T63） 用戶可調， 0.5 SCCM-5 SCCM : 100-4000 ms
10 SCCM - 20 SLPM : 30 - 4000 ms
50 SLPM - 5000 SLPM : 30 - 150 ms
顯示響應時間 用戶可調， 0.5 SCCM - 5 SCCM : 100 - 4000 ms
10 SCCM - 20 SLPM : ＜10 ms
50 SLPM - 5000 SLPM : 65 - 255 ms
預熱時間 ＜ 1 s
默認標況（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）
閥門功能 常閉型
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ～ 100 %，無冷凝
最大工作壓力 1 MPa 表壓
最di操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80KPaA以上使用；
其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度 ±0.5%讀數
極限耐壓 1.1 MPa 表壓
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@19200波特率；模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）
Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程誤差
供電電壓 12 - 30 VDC
供電電流 250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）額外加 40 mA（ 4-20 mA ）
電氣接口 DB9M，可選8針Mini-DIN、DB15、6針工業接頭等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 316L、303、和430FR不銹鋼、FFKM（標準）
可根據特殊氣體選用FKM或EPDM，R閥門增加410不銹鋼
過程連接 詳情參考壓損表
安裝位置 小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
滿量程質量流量控制器 | 滿量程壓損1（psid） 排氣到大氣中 | 外觀尺寸 | 連接接口2 |
0.5 sccm - 50 sccm | 1.0 | 4.4''H ×3.4''W ×1.1''D | M-5 （10-32）（內螺紋）3 |
100 sccm - 500 sccm | 1.0 | 4.6''H ×3.6''W ×1.1''D | 1/8''NPT內螺紋 |
1 slpm | 1.5 | ||
2 slpm | 3.0 | ||
5 slpm | 2.0 | ||
10 slpm | 5.5 | ||
20 slpm | 20.0 | ||
50 slpm | 2.0 | 5.7''H ×7.7''W ×2.3''D | 1/4''NPT內螺紋 |
100 slpm | 3.2 | ||
250 slpm | 2.4 | 6.0''H ×7.7''W ×2.3''D | 1/2''NPT內螺紋 |
500 slpm | 6.5 | 6.0''H ×7.3''W ×2.3''D | 3/4''NPT內螺紋 （2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內螺紋） |
1000 slpm | 14.0 | ||
2000 slpm | 28.6 | 6.0''H ×8.1'W ×2.9''D | |
3000 slpm | 16.8 | 6.0''H ×8.9''W ×2.9''D | 1-1/4''NPT內螺紋 |
5000 slpm | 14.1 | 7.0''H ×9.8''W ×4.5''D | 2''NPT內螺紋 |
1、與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容； 2、Buna-N表面密封至1/8''NPT內螺紋。 | |||
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